上海儀電科學(xué)儀器股份有限公司
鋁蝕刻液成分分析——磷酸,、硝酸,、醋酸有多少？
檢測樣品：鋁蝕刻液
檢測項(xiàng)目：磷酸 硝酸 醋酸
方案概述：蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。最早可用來制造銅版,、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于儀器鑲板,，銘牌等的加工,；經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展，亦可以用于航空,、機(jī)械,、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工，特別在半導(dǎo)體制程上,，蝕刻更是*的技術(shù),。
蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。最早可用來制造銅版,、鋅版等印刷凹凸版,，也廣泛地被使用于儀器鑲板，銘牌等的加工,；經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,，亦可以用于航空、機(jī)械,、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,，特別在半導(dǎo)體制程上,，蝕刻更是*的技術(shù)。
鋁是半導(dǎo)體工藝中最主要的導(dǎo)體材料,。它具有低電阻,、易于淀積和刻蝕等優(yōu)點(diǎn)。鋁蝕刻液主要成分是磷酸,、硝酸,、醋酸及水，其中磷酸,、硝酸,、醋酸及水的組成比例會影響到蝕刻的速率，故需要對這種混酸溶液的成分進(jìn)行分析,。
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